標籤：光芯片

中國首台納米光刻機投產

杭州璞璘科技近日向深圳力策科技交付中國首台投入實際產線的納米壓印光刻機，標誌著國產納米壓印技術從驗證走向規模化量產。該設備透過新工藝繞開傳統深紫外光刻限制，顯著降低了光芯片的生產成本。